3D 측정 레이저 현미경
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작성자 최고관리자 댓글 0건 조회 28회 작성일24-02-07 11:39본문
- 3D 측정 레이저 현미경 D Measuring Laser Microscope
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시설장비활용번호Z-202401312630
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시설장비등록번호NFEC-2023-10-291085
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시설장비표준분류공초점현미경
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장비활용서비스차세대 디스플레이 소재·부품 핵심연구지원센터
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장비문의
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예약문의
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제작사명(모델명)엘림글로벌 (OLS5100-SAM)
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활용대상기관외부활용
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활용범위공동활용허용
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이용방법분석ㆍ시험 의뢰
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구축일자2023-12-24
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표준분류광학/전자영상장비
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설치장소경기도 안산시 상록구 한양대학로 55 차세대 디스플레이 소재 · 부품 연구 센터 F1층 104호
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장비설명1 2 3 4 5 6
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구성 및 성능1. 3D 비접촉 측정 방식
2. 레이저 컨포컬 방식
3. 듀얼 광원 방식 (405nm 반도체 레이저 / 백색 LED)
4. 광원 S/W 조정 방식
5. 측정 시료 높이 100mm 이상 지원
6. 오토 스테이지 이동 범위 100mm x 100mm motorized 이상
7. X, Y 스테이지는 전동으로 조이스틱 및 소프트웨어에서 제어가 가능
8. 대물 렌즈는 총 2개 이상으로 배율 별 N.A값이 아래 값 이상 지원
: 10x(N.A : 0.30), 20x(N.A : 0.60)
9. 대물 렌즈 자동 변환 터렛 5구 이상
10. 평면 반복성 3σn-1=0.02um 이하
11. 높이 반복성 σn-1=0.012um 이하
12. 평면 정확도 측정치의 ±1.5%이내
13. 높이 정확도 측정치의 ±1.5%이내
14. 최대 측정 가능 경사 85°이상 측정 (거친 표면의 경우 해당)
15. DIC 필터 (미분간섭필터)와 QWP 필터 (투명상단표면감지필터) 의 장착이 가능
